良率超過 95％！Intel 宣布量子位元成功於半導體工廠大規模製造

英特爾（Intel）近日宣布，該公司偕同來自荷蘭台夫特理工大學，以及荷蘭國家應用科學院共同創立的量子技術研究機構 QuTech，由雙方研究人員所組成的先進量子運算研究中心，在美國奧勒岡州希爾斯伯勒的英特爾 D1 製造工廠，成功地首次大規模生產矽量子位元。

其製程成果能夠在單一晶圓上，製造超過 1 萬個陣列（array），其具備多個矽自旋量子位元，良率超過 95％。這項成就在量子位元數量和良率方面，均大幅度超越目前一般大學和實驗室所使用的製程。

此項研究已發表在《自然─電子學》（Nature Electronics）期刊上，為英特爾第一個經過同儕審查的研究，證明在 300mm 矽晶圓上成功製造量子位元。

▲ 在 2008 年，英特爾的量子運算晶片以能於一枝鉛筆的橡皮擦上維持平衡。

新製程使用先進的半導體製造技術，包含用來生產矽自旋量子位元的全光學微影技術，以及生產英特爾最新世代互補式金屬氧化物半導體（CMOS）晶片相同的設備。這項突破性的研究在擴大量子晶片生產規模的道路上邁出關鍵一步，證明量子位元最終有可能在同樣的工廠中與傳統晶片一起生產。

英特爾量子硬體總監 James Clarke 表示，量子運算有可能在高效能運算領域，為某些應用提供指數級的效能。研究證明不僅能夠促成量子電腦普及化，而且可以在既有晶片工廠中生產。Intel 期待繼續與 QuTech 合作，運用我們在矽製造方面的專業知識，釋放量子的全部潛力。