2022.09.16 07:30

Lam Research科林研發突破技術限制,受邀至SEMICON Taiwan演講

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Lam Research 科林研發為半導體產業提供晶圓製造設備和服務的全球供應商,讓客戶能創建體積更小和效能更好的電子元件,更在加速圖案化創新的過程中扮演至關重要的角色,以克服未來微縮邏輯元件和記憶體的關鍵製程挑戰。

即將於 9 月 14 日至 16 日登場的 SEMICON Taiwan 為半導體業界的年度盛事,本年度為白金級贊助商的 Lam Research 科林研發,受邀至微機電暨感測器論壇、高科技智慧製造論壇、半導體先進製程科技論壇以及異質整合國際高峰論壇進行專題演講,和業界領袖們共同關注半導體產業發展趨勢並展望科技未來。

MEMS 元件已成為現今日常應用中的關鍵組件,隨著對元件效能和製造數量的需求增加,業界也更迫切需要更好的 MEMS 製造解決方案。Lam Research 科林研發的客戶服務事業部策略行銷副總裁 Dr. David Haynes 將和大家分享如何把大量製造的解決方案、虛擬製造技術以及創新的製程能力結合在一起的策略,以創造更先進的 MEMS 量產解決方案,並探索技術相關的挑戰和變革。隨著元件製造商將半導體製程微縮到 3 奈米及以下,圖案化 ─ 包括微影和其他製程 ─ 已成為元件微縮的主要挑戰。

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運算產品部門資深處長 Dr. Joseph Ervin 將討論如何以預測性製程模型(數位分身)來降低製程變異性和缺陷,以期達成最小化曝光製程的成本;先進技術事業部的公司副總裁 Dr. Yang Pan 將進一步分享 Lam Research 科林研發的乾式光阻技術,以及該技術如何突破製程微縮障礙,使 EUV 曝光技術能繼續支援下一代邏輯和 DRAM 元件的製造;SABRE 3D 系列產品高級處長的 John Ostrowski 則將說明基板持續微縮的市場現況,以及基板朝向面板級製程(PLP)擴展的需求和其未來可能的市場影響。

今年 Lam Research 科林研發亦受邀出席 SEMICON 展望新世代人才培育活動。物料部門處長 Annie Chou 將於 Women-in-Semiconductors Summit 半導體女力論壇中,分享並討論如何發掘女性在 STEM 領域的領導力,為半導體產業培育更多元且共融的人才庫,並藉此鼓勵更多女性投入科技業。

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