Lam Research 科林研發推出了 Coronus DX,這是業界首款最佳化的晶邊沉積解決方案,
Coro
科林研發全球產品事業群資深副總裁 Sesha Varadarajan 表示:「在 3D 晶片製造世代,生產的過程複雜且成本高昂。
與 Coronus 晶邊蝕刻技術互補,Coronus DX 讓晶片製造商可採用新的元件結構。
當這些缺陷不能被蝕刻掉時,Coronus DX 會在晶邊沉積一層薄的介電保護層。
Coronus DX 實現了一流的精密晶圓置中定位和製程控制,包括整合量測,
Lam Research 科林研發推出了 Coronus DX,這是業界首款最佳化的晶邊沉積解決方案,
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科林研發全球產品事業群資深副總裁 Sesha Varadarajan 表示:「在 3D 晶片製造世代,生產的過程複雜且成本高昂。
與 Coronus 晶邊蝕刻技術互補,Coronus DX 讓晶片製造商可採用新的元件結構。
當這些缺陷不能被蝕刻掉時,Coronus DX 會在晶邊沉積一層薄的介電保護層。
Coronus DX 實現了一流的精密晶圓置中定位和製程控制,包括整合量測,
T客邦特約編輯 ,負責產業即時報導、資訊整理
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