台積電今年要大規模量產3nm工藝了，三星也是，兩家還要在2025年左右量產2nm工藝，對EUV光刻工藝的需求更高，而ASML今年底也會出貨新款EUV曝光機NXE:3800E。
ASML是唯一能量產EUV曝光機的公司，而且換代了多次，主要是提升能效及產能，目前最新的型號是NXE:3600D，NXE:3800E計畫是年底出貨，進一步降低EUV曝光的成本。
NXE:3800E曝光機的曝光能力將達到30mJ/cm2，WPH每小時產能大約是195片晶圓，後續還會提升到220片晶圓/小時，產能比當前型號高出30%以上。
至於售價，NXE:3800E的價格到底多少，目前還沒有一個可以證實的說法，但是光是前代EUV曝光機就賣到1.5億美元以上，這兩年還有通膨等因素，價格至少4億美元起跳。
NXE:3800E曝光機今年底出貨的話，考慮到安裝、偵錯及生產的週期，未來台積電、三星會主要在2nm節點使用，而高NA孔徑的下一代曝光機要解決的是1nm及之後的技術。
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https://www.techbang.com/posts/85381-why-can-anml-photolithing-machines-be-unique
再說全世界目前有能力及意願採購EUV設備的廠商也不過就幾家?即使不論台積電與ASML過往的革命情感,台積電基於ASML就像APPLE或高通之於台積電,算是"衣食父母"級的大客戶,爭取都來不及了,有甚麼理由"拒賣",除非台積電違反了美國政府之前下達對中國的出口禁令而遭受制裁,才有可能會出現這種狀況..不過我想台積電還不至於傻到如此