ASML新一代EUV曝光機有多耗電？台積電、三星都逃不過碳排放問題

據彭博社報導，ASML新一代EUV每台耗電約1百萬瓦，這對三星、台積電等晶片製造大廠，將會造成巨大的能源消耗問題。

台積電對能源高度依賴，2025年耗能估佔台灣的12.5%。而世界僅此一家的EUV公司ASML，旗下新一代的EUV曝光機耗資高達1.5億美元，包含10萬個元件和長達2公里的布線。

EUV曝光機的進化，也代表更先進晶片的製造過程正變得複雜和能源密集。ASML當前每台EUV的額定耗電量約為1百萬瓦，約為前幾代裝置的10倍，但由於沒有替代品來製造最先進的半導體，晶片行業可能成為減少全球碳排放的重要障礙。

台積電為業界擁有最多EUV曝光機的公司，公司目前已有超過80台EUV，新一代裝置還在安裝中。預計到2025年，僅台積電一家公司就將佔全台灣整體能源消耗的12.5%，遠高於2020年的6%。

對於晶片製造的能源消耗問題，環保組織綠色和平（Greenpeace）氣候能源主任鄭楚忻曾表示，缺電必然發生，其他行業將受其牽連。比利時微電子研究中心（Imec）Lars-AkeRagnarsson指出，在使用高耗能裝置的晶片廠，再生能源變得緊急且必要。

韓國晶片製造巨頭三星也面臨著類似的能源消耗問題。三星在韓國擁有六個半導體製造基地，2021年佔其功耗的3%。

對於這樣的說法，台積電表示，公司持續改進半導體高階製程技術，生產更先進、更具能源效率及更環保的產品，其還在積極投入綠色製造，落實節能減碳相關作為，包括致力最佳化製程能源使用效率，同時和機台裝置商合作開發新的節能行動方案。

按照該公司引述2020年工研院產業科技國際策略發展所（ISTI）模型推導分析結果，稱台積電每使用1度生產用電，能為全球減省4度電。