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新聞 搶先台積電，Intel買下ASML首款最先進High-NA EUV曝光機、每小時200片以上晶圓產能 MikaBrea 發表於 2022年1月20日 09:30 Plurk 英特爾（Intel）已向艾司摩爾（ASML）下訂業界首台 TWINSCAN EXE:5200 High-NA 極紫外光（EUV）曝光機大量生產系統，每小時將具備 200 片以上晶圓產能。
