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新聞 佳能挑戰 ASML!告別 EUV 光源?佳能奈米壓印技術,晶片製造更省電省錢 國寶大師 李文恩 發表於 2024年10月02日 13:00 Plurk 佳能首台奈米壓印晶片製造機運抵研發實驗室!與ASML複雜的極紫外光技術不同,此微影技術不需要光源。