
在近期舉行的北美技術論壇(North America Technology Symposium)上,台積電(TSMC)首度公開了 N2(2 奈米)製程的缺陷率(D0)情況,顯示 N2 的表現比過往 7nm、5nm、3nm 等歷代製程更為優異。
雖然台積電並未直接公布具體數據,但從官方展示的不同製程隨時間推移的缺陷率趨勢圖來看,N2的表現相當亮眼。
N2 製程首次導入全環繞閘極晶體管(GAAFET)架構,目前距離量產大約還有兩個季度,預計將於年底正式進入大規模生產。根據台積電透露,N2試產近兩個月以來,缺陷率與當時的 N5/N4 相當,甚至稍微更低,並且明顯優於 N7/N6 及 N3/N3P 製程。
從過往經驗來看,在試產至量產半年內,N7/N6 綜合缺陷率最高;N3/N3P 從量產開始就有所改善;而 N5/N4 則在試產初期就展現出明顯低缺陷率的優勢。若 N2 能延續 N5/N4 的良好趨勢,其未來量產前景可期。
台積電也指出,一項新製程的缺陷率能否快速下降,除了技術本身的成熟度之外,也取決於流片(試製)數量與產能規模。流片數量越多、產能擴展越快,越能提早發現並修正潛在問題,進一步加速製程成熟。
目前,N2 製程已流片的晶片數量明顯高於以往同期的其他製程,這也是其能迅速改善缺陷率的關鍵之一。
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